针对射频微机电系统 (RF MEMS) 开关的可靠性评价问题，结合其典型结构及工作原理，分析了工艺、机械、环境等因素对开关可靠性的影响。在此基础上，提出了该开关的可靠性试验项目，以及筛选、鉴定检验、质量一致性检验的质量评价程序与方法。典型开关样品的试验验证结果表明，该评价要求程序有效、合理。本研究可为 RF MEMS 开关的质量考核与可靠性提升提供关键依据。

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