摘 要 通过介绍化学品在集成电路工艺中的应用和我国集成电路工艺化学品产业现状，重点阐述了集成电路工艺化学品标准化进展，并提出了集成电路工艺化学品标准体系框架。
关键词 化学品 集成电路 标准体系
Abstract: This paper firstly introduced the chemicals applied in integrated circuit (IC) 
manufacture., secondly the industry status of chemicals applied in IC manufacture is 
introduced, and at last drew the standards system table for chemicals applied in 
integrated circuit manufacture .
Keywords: chemicals; integrated circuit; standard system

网站会员需要登录才能在线预览，点我登录。

如何成为网站会员>>