针对功率器件的热阻测试需求，开展了基于电学法的GaN 器件热阻测试方法研究。分别采用Vgs 和Vds 温敏参数进行电学法测试对比，分析了其温敏特性差异、测试电流、及加热电流对热阻测试结果的影响，通过集成电学法与红外法测试系统对热阻测试结果进行了对比，验证了两种测试结果的可信性。测试结果表明，Vgs 和Vds 呈现不同趋势的线性温度特性，电压Vds 对于温度的响应显著低于Vgs，且热敏参数的选择是影响GaN 功率器件热阻测试结果的主要原因。

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